淨化工程中如何有效的防止靜電產生
首先,從靜電產生的機理來看,應該從降低有關物體的絕緣度著手,使兩物體即使摩擦也不產生和少產生靜電,對次有以下一些主要措施:
1.保持環境有一定的濕度。實踐證明,北方地區或在乾燥的冬季,因靜電產生故障的事例要遠遠大於在東南沿海地區或其他季節,所以在一些重要場所,如電腦機房、實驗室、電子儀器的裝調車間應考慮保持一定濕度的問題,特別是對那些封閉形的空調房間,更應有一定控制濕度的設備。
2.鋪設防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導電性能的塑膠地板或地毯產品,能十分有效抑制由於人的行走產生靜電。
3.使用離子風槍、離子頭、離子棒等設施,使在一定範圍內防止靜電產生。
4.半導體器件應盛放在防靜電塑膠盛放器或防靜電塑膠袋中,這種防靜電盛放器有良好導電性能,能有效防止靜電的產生。當然,有條件的應盛放在金屬盛放器內或用金屬箔包裝。
5.對於操作人員應在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應有良好的接地性能,這種措施最為有效。
防靜電小常識
靜電是一種客觀的自然現象,產生的方式很多,如接觸、磨擦、沖流等等。其產生的基本過程可歸納為:接觸 → 電荷 → 轉移 → 偶電層形成 → 電荷分離。
設備或人體上的靜電最高可達數萬伏以至數十萬伏,在正常操作條件下也常達數百至數千伏。人體由於自身的動作及與其它物體的接觸-分離、磨擦或感應等因素,可以帶上幾千伏甚至上萬伏的靜電。靜電是正、負電荷在局部範圍內失去平衡的結果。它是一種電能,留存在物體表現,具有高電位、低電量、小電流和作用時間短的特點。
靜電控制的主要措施有:靜電的洩漏和耗散、靜電中和、靜電屏蔽與接地、增濕等。靜電放電引起的元器件擊穿損害是電子工業最普遍、最嚴重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿。硬擊穿是一次性造成元器件介質擊穿、燒毀或永久性失效;軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數指標下降。靜電敏感元器件和印製電路板在生產過程中工序之間的傳遞和儲放,必須使用防靜電上料箱、元件盒、周轉箱、周轉託盤等。以防止靜電積累造成危害。靜電敏感元器件和印製電路板,作為成品進行包裝時必須採用防靜電屏蔽袋、包裝袋、包裝盒、條、筐等,避免運輸過程中的靜電損害。
電子產品在生產過程中,其元器件、元件成品經常與設備工具等發生接觸、分離,磨擦而產生靜電,必須使用防靜電坐墊、周轉小車、維修包、工具、工作椅(凳)等,並通過適當的接地,使靜電迅速泄放。磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業中的兩大危害源,但產生靜電並非危害所在,危害在於靜電積累及由此產生的靜電電荷放電,因此必須予以控制。帶靜電的物體,在其周圍形成靜電場,會產生力學效應,放電效應和靜電感應效應。由於靜電的力學效應,空氣中的浮游的塵粒會吸附到矽片等電子元器件上,嚴重影響電子產品的品質,因此,對淨化工作空間必須採取防靜電措施。
潔淨室的牆壁、天花板和地板等都應採用防靜電的不發塵材料,對操作人員及工件、器具也應採取一系列的靜電防護措施。為瞭解生產過程靜電起電情況,判別生產過程中靜電的影響程度以及檢驗靜電防護用品、裝備品質都需要測量靜電及有關參數。