靜電對於萬級無塵車間環境的危害 必知必會

靜電或許對咱們的日子沒帶來多大的危害，但在工業中可不相同。萬級無塵車間的半導體，平面顯示器，光電子等潔淨車間，雖然做了許多作業，但潔淨車間的靜電疑問依然影響著出產安全和商品產量，影響著製作本錢和效益，影響商品的品質和可靠性。

據國外工業專家估量，美國每年由於靜電構成商品的扔掉平均在8-33%，還有人估量美國每年靜電對電子工業毀損價值達100億美元；日本80年代曾對作廢的電子商品進行剖析，由ESD致使的扔掉占1/3。中國半導體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電危害也時有發作，成品率較低。而銀行、證券公司、機要資料庫、監控基地，電力調度室等等，若出現ESD就很簡略致使煩擾，資料扔掉，表像就更嚴峻了。
萬級無塵車間靜電庫侖力在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、汙物構成元器材增大走漏或構成短路，使功用受損，成品率和可靠性大大降低。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時，最易使商品作廢。現在線徑更細，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會危害元器材，這種表像多發作在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等技術過程中。

靜電放電萬級無塵車間ESD致使EMI其電磁波的前後峰較尖，信號強，相當於電路中幾伏的能量，頻率跨過幾MH2甚幾百MH2的健壯雜訊，或許致使元器材損壞，設備和感測器不正常作業，乃至致使設備死機。致使的EMI還會引發過失信號的輸入，或發作鎖存表像。

如無塵車間中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的擴結束會議致使晶圓片處理機死機。電擊人體萬級無塵室元器材的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV（100PF）的靜電荷，觸摸器材腳時發作ESD，其向大地霎時間構成脈衝放電電流峰值20A（10~100s），不要說高密度，細線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，便是通常IC、MOS都會遭受損壞。

通常說器材絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強是E=（5-10）×106V/cm，假定器材SiO2膜厚度取1000，其器材輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿，而人體帶靜電逾越50V、100V是極往常的。構成雜訊、發射電磁波煩擾人體的ESD或對人體的ESD當逾越人體電擊極限電流5mA以上時，人都會有各種損害感受，構成作業人員的心境不安，操作過失。