中國半導體設備業發展需要再扶一程

OFweek電子工程網訊 與正在蓬勃成長的中國晶片製造業一樣，中國的半導體設備業正在迎來新的曙光。據北方華創微電子的消息，它在2017年1月的訂單量已經超過去年第一季度的總量。半導體設備位於晶片製造業的上游。半導體行業歷來對於設備業的發展十分重視。全球半導體業的投資中有70％以上用於購買設備，只要有錢購買設備就能保證某些先進制程工藝的實現。現階段工藝制程中的的7納米、5納米，甚至3納米開發工作，關鍵在於EUV光刻設備是否準備好了。
與日本與韓國都是依靠記憶體的突破超過對手不同，美國迎接日本半導體挑戰的方法是成立SEMATECH研究聯盟。該聯盟由13家美國半導體公司集資組成，包括應用材料公司，主攻IC製造工藝及相關設備。SEMATECH的宗旨是整合各企業的資源，共同開發技術和分擔財務風險，進而提升美國半導體製造技術。
自1987年啟動，運行到1995年，SEMATECH幫助美國半導體企業重新回到世界第一的位置。由此可見，美國推動半導體產業進步發展的主要方法在於提升半導體設備及制程技術，進行全方位趕超，而非局限於某類產品。
中國半導體設備業迎來黃金時機
近期中國的晶片製造業進入又一輪擴充產能的高☆禁☆潮。中國半導體設備企業迎來又一個“春天”。
在“國家積體電路產業投資基金”的助推下，中國半導體業正迎來難得的發展“黃金時機”，據估算投入各類資金總量可能達1000億美元以上。
根據SEMI的預測，2016年至2017年間，綜合8英寸、12英寸廠來看，確定新建的晶圓廠就有19座，其中中國大陸就占了10座。半導體前道設備的銷售額，全球2013年為318．2億美元，2015年為365．3億美元，2016年為396．9億美元，預測2017年為434億美元，中國部分可達69．9億美元（包括外資在中國的投資）。
近期中國的晶片製造業進入又一輪擴充產能的高☆禁☆潮，多到幾乎讓人不太敢相信，如中芯國際675億元在上海新建12英寸生產線，在深圳投資新建12英寸生產線，以及天津擴建8英寸生產線，產能由4．5萬片增至15萬片，投資15億美元。華力微電子的二期，投資387億元，月產能4萬片。此外還有三個項目欲攻佔記憶體，包括有長江存儲的投資240億美元，福建晉華370億元，以及可能的合肥兆易創新。另有紫光的大動作，包括如紫光國芯的800億元定增集資，以及南京的300億美元記憶體專案，與300億元的配套IC投資等。在這樣的大好形勢下，加上國家有鼓勵採用國產設備的補助政策，像北方華創微電子這樣的中國半導體設備企業迎來又一個“春天”。
重新認識北方華創微電子
目前中國半導體設備和材料占全球市場份額不足1％，嚴重制約著國產晶片產業的健康發展。
綜觀全球半導體設備與材料市場，每年約800億美元，現狀幾乎是美國壟斷設備，日本掌控材料，除了歐洲的ASML光刻設備之外，連中國臺灣地區與韓國的設備國產化率也很低。兩者多次設立目標想要提升，但受限於工業基礎，實際上進展也很緩慢。相比之下，在中國半導體業發展中，更嚴峻的態勢是所用的設備與材料，幾乎90％以上都需要進口。
SEMI全球副總裁、中國區總裁居龍就多次指出，目前中國半導體設備和材料占全球市場份額不足1％，嚴重制約著國產晶片產業的自給和健康發展。
在這樣的大背景下，北方華創微電子不忘初心，努力拼搏，艱難前行。然而它們的進步也與國內新興產業的成長緊密相關。經過十多年的努力奮鬥，目前北方華創微電子已經在半導體照明、先進封裝、微機電系統、光伏等產業達到一定的規模，設備國產化率較高。同時，在積體電路晶片製造領域，作為中國積體電路裝備產業的先行者，北方華創微電子不斷探索，憑藉技術創新實現產業突圍，填補了中國積體電路裝備領域的多項空白，其開發了刻蝕機、PVD、單片退火設備、氧化爐、退火（合金）爐、LPCVD以及清洗機七大類設備，實現了從“8英寸100納米”到“12英寸14納米”的技術跨越，這些產品已經全面在中國最主流的幾家積體電路代工廠量產，斬獲不菲業績。其中，應用於28nm的exiTin H430 Metal Hardmask PVD系統工藝設備以及應用於55nm的NMC612系列12英寸矽刻蝕機被國內領軍積體電路晶片製造企業指定為Baseline機台。