鐳射干涉儀的得力小幫手——環境補償單元

說了那麼久鐳射干涉儀，不知道讀者們有沒有注意到一個小東西，鐳射干涉儀的配套設備裡面始終有一個身影經常出現，那就是“環境補償單元”，在以往演示鐳射干涉儀時，大部分都是圍繞鐳射頭和鏡組的架設進行介紹，而“環境補償單元”這個小物件就被一帶而過。所以有些讀者心裡會有疑問：鐳射干涉儀不是直接測量被檢機床等設備的相關精度參數的嗎？還要這個環境補償器幹嘛呢？

小編告訴您：鐳射干涉儀發射出的鐳射波長是系統測量精度的依據，但鐳射波長會受到其所通過的空氣介質的折射率影響，影響空氣折射率的因素又包括空氣壓力、溫度及濕度，儘管這種影響比較小，但如果在進行高精度測量時，是有需要對空氣折射等環境影響因素進行補償的。雖然環境補償單元只有一個資料生成器，外加一個空氣溫度探頭和三個材料溫度探頭，如此小巧的東西卻能為測量線性的精度更上一層樓，是不是覺得很奇妙呢？

以下是環境補償器對空氣溫度、材料溫度、空氣濕度以及大氣壓力的補償參數：

空氣溫度感測器：±0.1℃ (0-40℃)

材料溫度感測器：±0.1℃ (0-40℃)

空氣濕度感測器：±6% RH (0-95)%RH

大氣壓力感測器：±100Pa