人們常常會聽到這樣的說法：“潔淨室中的污染又看不見，沒什麼好清潔的。”“清潔前與清潔後的潔淨室都一樣乾淨，所以不需要清潔”。這兩種說法反映了對潔淨室清潔維護工作的一般態度。潔淨室並不僅僅是工業生產活動的一個一般的組成部分，潔淨室就是而且也應當被看作是整個生產系統的中心部分，因為一系列關鍵工藝步驟必須在其中進行。那麼究竟有沒有必要對潔淨室進行定期的清潔維護呢？
在講到清潔維護的重要性之前，我們先在認識一下潔淨室中的四大污染來源：
1.潔淨室中的工具設備在運轉的過程中會向潔淨室空間擴散粒子。
2.潔淨室中的產品也會向潔淨室空間擴散粒子。
3.潔淨室中的設施，例如地面、牆面、天花板等，一刻不停地擴散著粒子。
4.潔淨室中的人員是污染的主要來源，潔淨室中的污染有80%都來自于人員散發的粒子。
既然潔淨室有這麼多污染來源，為什麼潔淨室“看上去”還那麼乾淨呢？那是因為我們肉眼只能看到粒徑大於50um的塵粒，需要用顯微鏡才能看到小於50um的塵粒。對於許多精密製造業來說，例如晶片製造業，任何大於0.1um的塵粒都會對產品造成危害。此時，就需要通過潔淨室和污染控制技術來達到合格的生產環境。
我們知道，潔淨室可以通過送風系統達到自淨的目的，但是通過迴圈風系統只能去除一部分污染，仍會有大量的污染物在重力作用和布朗運動的作用下造成堆積。堆積在表面的污染物並不是靜止不動的，污染物會通過表面直接或通過空氣和人員等媒介間接地與產品發生“接觸”，這種“接觸”就會對產品造成污染，導致產品不良。
此時，對潔淨室進行定期的清潔維護就顯得非常有必要了。我們進行清潔維護的目的首先在於去除污染，已達到潔淨室設計建造時預期的潔淨度，但最終還是為了保護我們的產品不受污染，提高產品的優率。因此，我們可以將潔淨室清潔維護定義為：“從潔淨室內或潔淨區內重要性各不相同（對潔淨度而言）的表面，釋放出所有不希望的污染物，並把它們收集起來清除掉。”
我們可以把清潔工作分為兩大範疇，預防性清潔和主動清潔。預防性清潔就是，防止產生污染物及防止外部環境的污染物傳入到潔淨室環境，或者使其達到最小；防止污染物在關鍵區域中擴散。為主動清潔所採取的全部準備措施，也屬於預防性清潔。而主動清潔則是將污染物從關鍵區域中釋放出來。這裡，我們重點講一下主動清潔的方法和原則。
根據所使用的工具不同，主動清潔的方法可以分為幹法和濕法。幹法就是使用真空吸塵器，或者是幹的工具或粘著方法進行清潔。使用幹法只能去除部分塵粒，粒子越小，其附著在表面的力就越大，並且粒子附著在表面的時間越長，就越難以將其清除。濕法清潔是對幹法的有效補充。附著在表面的較小粒子，很難用真空吸塵器吸走，因為真空吸塵器達不到清除粒子所需的風速。此時，使用無塵拖把或無塵布配合清潔溶劑進行清潔就能有效地去除污染。同時，為了避免交叉污染，清潔時還應遵循從上到下，從裡到外的清潔原則，並採用直線方向部分重疊的擦拭方法。
總之，定期對潔淨室進行清潔維護對於潔淨室性能的維持有著重要的意義。作為潔淨室工作者，一定要重視這項看似簡單的工作。