淨化車間內該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列四項基本原則：
一、不攜入
1）作業員進入潔淨車間前，機台、零件攜入前應進行清潔處理；
2）進入潔淨車間者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通過風淋室時利用高速乾淨空氣除去附在衣服表面的粒子後，才能進入潔淨車間。
4）機器及材料帶進潔淨車間前，應盡可能在密封狀態下帶進潔淨車間前室保養後用超純水擦拭，經風淋室吹淋後才進入潔淨車間。
5）潔淨車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan於腰間。
二、不製造
在控制最大污染源--人在淨化車間內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—製造機台的發塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到最小限度應採取以下對策：
1）減少接觸剝離發塵的動作形態；
2）採用磨耗發塵小的材質；
3）採用發塵小的潤滑油；
4）機台應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
三、不儲備
若能徹底實施“不攜入”技術，潔淨室內的潔淨度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及製造機台的掣動，在廣大的潔淨車間內要有完全潔淨度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在篩檢程式中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。
在最高等級的潔淨車間中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在潔淨車間內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。
控制氣流可防止微粒子累積，但對於帶電表面的微粒累積就無法防止。潔淨車間內的浮游微粒子濃度，使用高性能的篩檢程式即可容易達到零水準，實際的生產現場由於作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在製造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。
四、排除/除去
在無法避免大量微粒子發生的機台中，為了不讓潔淨車間內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由於導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向潔淨室外排氣，而應採用將除去粒子後的空氣再回流到潔淨車間內之對策。