近年來，隨著工業生產要求的提高，無塵車間的使用也越來越普及。但是在無塵車間的使用中，除了要瞭解無塵車間的管理制度，還要知道如何控制無塵車間的濕度。無塵車間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。不過為什麼要控制無塵車間的濕度呢?
因為無塵車間濕度過高會產生很多問題。當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把矽片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低於30%時，又由於靜電力的作用使粒子也容易吸附於表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對於矽片生產最佳溫度範圍為35—45%。
因此濕度控制是無塵車間生產必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔淨室運作過程中一個常用的環境控制條件。無塵車間中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的範圍內，允許誤差在±1%的狹窄的範圍內。相對濕度在40%至60%的範圍同樣也是人類感覺舒適的適度範圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低於30%則會讓人感覺乾燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔淨室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔淨室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬塗層組成時，高濕度可以使反應加速。
高濕度實際上減小了無塵車間、潔淨室表面的靜電荷積累。較低的濕度比較適合電荷的積累並成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小於30%時，可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。因此在相對濕度較高的環境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與矽質表面的黏附力。當相對濕度小於50%時並不重要，但當相對濕度在70%左右時，就成為顆粒之間黏附的主要力量。