消防設施配置
由於潔淨廠房的建築造價及工藝設備都比較昂貴，發生火災帶來的直接和間接的經濟損失都十分慘重，因此建立行之有效的消防保障體系是潔淨室建造和運行必須解決的重要問題。目前被廣泛使用于潔淨廠房的滅火設施有：室內外消火栓系統，自動噴水滅火系統和滅火器。另外，還應根據具體的條件和要求，有針對性地選用其他必要的消防設備，如氣體滅火系統等。
一）室內外消火栓系統
潔淨廠房設置的室內、外消火栓系統應符合現行規範的要求。潔淨廠房室、內外消防給水可採用高壓、臨時高壓或低壓給水系統，如採用高壓或臨時高壓給水系統，管道的壓力應保證用水量達到最大且水槍在任何建築物的最高處時，水槍的充實水柱仍不小於10m；如採取低壓給水系統，管道的壓力應保證滅火時最不利點消火栓的水壓不小於10m水柱（從地面算起）。潔淨廠房的消火栓的設置尚應符合下列規定：
1、潔淨室（區）的生產層及上下技術夾層（不含不通行的技術夾層），應設置室內消火栓；
2、室內消火栓的用水量不應小於10L/S，同時使用水槍數不應少於2支，水槍充實水柱不應小於10m，每只水槍的出水量不應小於5L/S。
3、潔淨廠房室外消火栓的用水量不應小於15L/S。
二）自動滅火設備
1、自動噴水滅火系統
目前，自動噴水滅火系統已成為潔淨廠房消防系統的首選配置。設置在潔淨室或潔淨區的自動噴水滅火系統，宜採用預作用自動噴水滅火系統。自動噴水滅火系統的設計應符合現行國家標準的《自動噴水滅火系統設計規範》GB50084的要求。按照《自動噴水滅火系統設計規範》GB50084的要求，其噴水強度一般不宜小於8.0L／（min.㎡），作用面積不宜小於160㎡。
2、其他滅火設施
除設置水滅火系統之外，在SiH4配送區域應當設置直接作用於各個氣瓶的水噴霧系統，該系統的動作信號應當來自感光探測器，如在遠離建築物的區域設計的開放式配送系統且採取了有效措施減輕爆轟影響後，可以不設置水噴霧系統。另外目前較為廣泛使用的還有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等潔淨氣體滅火系統。
二氧化碳具有毒性，使用不當會使人窒息，不能用於有人的場所，而且其冷卻作用較大，對精密儀器會產生一定影響。IG54l氣體滅火機理為物理滅火，滅火較慢，它的儲存壓力較高，被保護的區域較大，但鋼瓶的用量多，鋼瓶間儲存空間較大，而且對系統管網要求高，計算複雜。七氟丙烷氣體滅火機理為化學滅火，滅火較快，一般輸送距離不宜大於35m，但被保護物件體積較大時，需配置2套系統，會增加投資造價。綜上所述，在潔淨廠房存放貴重設備和儀器、物料的潔淨室設置氣體滅火系統時，不應採用會導致人員窒息和對保護物件產生二次損害的滅火劑，應進行方案比較，選擇最合適的系統設計。
三）火災自動報警系統
潔淨廠房應設置火災自動報警系統及消防聯動控制，其防護等級應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規範》GB50116的有關規定。當防火分區面積超過現行國家標準《建築設計防火規範》GB50016規定的最大建築面積允許值時，保護等級應為一級。矽烷儲存、分配間（區）應設置紅外線-紫外線火焰探測器。潔淨生產區、走道和技術夾層（不包括不通行的技術夾層）應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。控制設備的控制及顯示功能應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規範》GB50116的有關規定。
火災自動報警系統的設計在滿足現行規範要求的同時，還應根據潔淨廠房的特殊要求合理選擇，充分優化。下面以醫藥類潔淨廠房和電子類潔淨廠房等為例進行說明。
1、醫藥類潔淨廠房火災自動報警系統的設計
醫藥潔淨廠房生產區應設置火災探測器，生產區與走道還應設置手動火災報警按鈕。高活性藥物生產潔淨室由於生產過程中使用或產生致敏性藥物、生物活性藥物或一般致病菌，容易造成污染，因此設置在該類潔淨室內的火災自動報警裝置設備應具備密閉性、耐用性、高靈敏度和表面光潔的特點。點式探測器可選用溫感探測器或火焰探測器，如需要煙感探測器，建議選用紅外光束型線型感煙探測器。對於安裝在吊頂或夾層內比較隱蔽的電纜或電氣設備發熱可能導致的火災的探測，可選用纜式線型感溫探測器。探測器可直接接觸或鄰近被探測目標安裝，及早發現火災隱患。
2、電子類潔淨廠房火災自動報警系統的設計
電子潔淨廠房應根據生產工藝佈置和公用動力系統的裝備情況設置火災報警裝置。潔淨生產區、技術夾層、機房、站房等均應設火災探測器，其中潔淨生產區、技術夾層應設智慧型探測器。在潔淨室（區）空氣處理設備的新風或迴圈風的出口處宜設火災探測器。當廠房內防火分區面積超過現行規定要求時，在潔淨室內淨化空調系統混入新風前的回風氣流中應設置高靈敏度早期報警火災探測器。當潔淨室（區）頂部安裝探測器不能滿足《火災自動報警系統設計規範》GB50116要求時，在潔淨室內淨化空調系統混入新風前的回風氣流中應設置高靈敏度早期報警火災探測器。
3、潔淨廠房內特種氣體和化學品洩漏探測系統
潔淨廠房由於使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑．其中任何一種氣體和溶劑洩漏都會帶來很大的火災危害、設備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶櫃內部、溶劑間、溶劑輸送櫃內部、SUBFAB、閥門箱和生產區均應按輸送介質以及介質危險性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR探測器等。
四）防煙排煙
1、防煙設施
鑒於潔淨廠房建築結構封閉的特點，設置有效的防煙設施有利於保證火災時人員的疏散。
當疏散樓梯間佈置在建築的外牆側，可以採用可開啟外窗進行自然排煙。當疏散樓梯佈置在建築內部或樓梯間有潔淨要求不具備自然排煙條件時，應設置機械加壓送風系統。機械加壓送風系統的設計應符合國家有關消防技術規範和標準。潔淨避難區設置的機械加壓送風系統一般利用新風空調機組進行加壓，火災時，維持避難區正壓，正壓值相對於相鄰區域為25-30Pa。
2、排煙系統
丙類廠房中建築面積大於300㎡地上潔淨室和建築面積大於200㎡的地下潔淨室應設排煙設施。潔淨廠房疏散走道應設置機械防排煙設施。
目前潔淨室設計的排煙形式主要有上排煙模式、上排煙和下排煙相結合模式、利用回風通道設置排煙風機進行排煙形式、排煙風機兼作火災時排煙形式。
潔淨廠房每個防煙分區的排煙支管上均應設置排煙防火閥，排煙口採用常開型風口。排煙風機入口處設置280℃關閉的排煙防火閥，並與排煙風機連鎖。為維持潔淨室內部空氣壓力，服務於淨化區域內的排煙系統管路上應採用低洩漏的排煙閥和排煙防火閥。排煙口宜採用低洩漏常閉型板式排煙口，在排煙風機入口處採用低洩漏常閉型排煙防火閥並能接受消防中心的信號自動開啟閥體。
潔淨室機械防排煙系統宜與通風、淨化空調系統合用但必須採取可靠的防火安全措施，並應符合現行國家標準《建築設計防火規範》GB50016的要求。
五）滅火器配置
潔淨廠房內各場所應配置滅火器，並應符合現行國家標準《建築滅火器配置設計規範》GB50140的有關規定。滅火器的配置，其關鍵在於正確選擇和使用滅火劑。滅火劑選擇時，應考慮配置場所的火災類型，滅火劑的滅火能力，對保護物件汙損程度，使用的環境溫度以及滅火劑之間、滅火劑與可燃物的相容性。在潔淨室內通常不宜選用化學乾粉滅火劑、泡沫滅火劑等滅火後會對工藝設備和潔淨室環境產生一定污染和腐蝕作用的滅火劑。二氧化碳滅火劑滅火後不留痕跡．不汙損、腐蝕保護物品，在潔淨室內得到普遍使用。
六）疏散標誌和應急照明
潔淨廠房內應設置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉角處應按現行國家標準設置疏散標誌，在專用消防撲救口處應設置紅色應急照明燈。
氣體管道的安全措施
潔淨廠房氣體管道的幹管，應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內，當與水、電管線共架時，應設在其上部。與本房間無關的管道不應穿過。氣體管道應按不同介質設明顯的標識。
各種氣瓶庫應集中設置在潔淨廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔淨室內，但必須採取不積塵和易於清潔的措施。
一）可燃氣體報警裝置和事故排風裝置
可燃氣體易燃易爆，危險性大，可能發生燃燒爆炸事故，而且發生事故時波及面廣，危害性大，造成的損失嚴重，下列部位應設可燃氣體報警裝置和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯鎖：
1、甲類火災危險生產的氣體入口室。
2、管廊，上、下技術夾層或技術夾道內有可燃氣體管道的易積聚處。
3、潔淨室內使用可燃氣體處。
二）管道安全技術措施
1、可燃氣體管道應設下列安全技術措施:
1）接至用氣設備的支管和放散管，應設置阻火器。
2）引至室外的放散管，應設防雷保護設施。
3）應設導除靜電的接地設施。
2、氧氣管道應設下列安全技術措施:
1）管道及其閥門、附件應經嚴格脫脂處理。
2）應設導除靜電的接地設施。